高品質(zhì)石英坩堝生產(chǎn)商,在生產(chǎn)石英坩堝過(guò)程中,往往會(huì )采用涂鋇工藝,來(lái)改善坩堝的質(zhì)量!
氫氧化鋇,含有結晶水的粉狀或粒狀的晶體,要求純度達到99.99%,是光伏行業(yè)單晶坩堝冷涂層的理想化學(xué)原料。氫氧化鋇應用的原因是鋇在硅中的平衡偏析系數非常小,使得他在硅晶棒中的濃度小于2.5x10(-9)/cm3,因而不會(huì )影響到晶棒的品質(zhì)。
石英坩堝本身是非晶質(zhì)的介態(tài)能,在適當的條件下會(huì )發(fā)生相變化而形成穩定的白矽石結晶態(tài),隨著(zhù)單晶拉制時(shí)間的增加,可能使得白矽石結晶整個(gè)剝落。這些剝落的白矽石顆粒,隨著(zhù)流動(dòng)而飄動(dòng)在溶液中。大部分的顆粒,在一定時(shí)間之后即可完全溶解于溶液內。然而仍有些幾率,部分較大的顆粒在未完全溶解之前,即撞倒晶棒的表面,而導致位錯的產(chǎn)生。產(chǎn)生位錯的機率隨著(zhù)石英坩堝的使用時(shí)間及溫度增加而增加。
近年來(lái)研究發(fā)現,將石英坩堝壁涂上一層含有結晶水的氫氧化鋇(Ba(OH)2. 8H2O)(飽和的氫氧化鋇水溶液), 這層氫氧化鋇會(huì )與空氣中的二氧化碳反應形成碳酸鋇。而當這種石英坩堝在單晶爐上被加熱時(shí),碳酸鋇會(huì )分解形成氧化鋇,隨著(zhù)氧化鋇與石英坩堝反應形成矽酸鋇(BaSi03)。由于矽酸鋇的存在,使得石英坩堝壁上形成一層致密微小的白矽石結晶。這種微小的白矽石結晶很難被溶液滲入而剝落,即使剝落也很快被溶液溶解掉,因此可以大幅度的改善石英坩堝的使用壽命及長(cháng)晶良率。另外在石英坩堝內壁表面形成一層白矽石結晶的好處,是它可以增加石英坩堝的強度,減少高溫軟化現象。
以往石英坩堝氫氧化鋇涂層工藝一般采用人工涂層的辦法,配制好的氫氧化鋇溶液未在氮氣的保護下且一般采用的噴涂罐的載氣為壓縮空氣,且人工操作時(shí)受個(gè)人主觀(guān)因素的影響,不能實(shí)現涂層薄膜的均勻和穩定性。以前的噴涂設備將氫氧化鋇溶液采用二氧化碳直接驅動(dòng)噴涂,噴涂工藝較簡(jiǎn)單,二氧化碳與氫氧化鋇儲液罐中的溶液容易起反應,影響噴涂效果,且該方法中噴霧方式采用的不是二流體壓力霧化系統,不能形成霧化均勻的、霧化顆粒小的霧化效果?,F在我們可以通過(guò)采用氮氣作為保護氣體,可保證氫氧化鋇溶液不與空氣中的二氧化碳反應,不會(huì )混入其他雜質(zhì),使噴涂時(shí)為純氫氧化鋇溶液,避免其他雜質(zhì)的污染。噴涂時(shí)采用二流體壓力噴霧系統,采用高純二氧化碳與液體摩擦, 能夠得到微粒更小,更均勻的噴霧效果。在石英坩堝旋轉的同時(shí)霧化噴嘴相對于石英坩堝作上下往復運動(dòng), 可使石英坩堝內壁表面各個(gè)部位與藥液充分接觸,且噴完藥液后增加了一段噴水工藝,使得藥液在石英坩堝表面分布更加均勻。